GB50646-2011《特种气体系统工程技术规范》

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UDC

中华人民共和国国家标准

P GB 50646 - 2011

特种气体系统工程技术规范

Code for technical of speciality gas system engineering

（报批稿）

XXXX-XX-XX 发布 XXXX-XX-XX 实施

中华人民共和国住房和城乡建设部

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

联合发布

中华人民共和国国家标准

特种气体系统工程技术规范

Code for technical of speciality gas system engineering

GB XXXXX-XXXX

主编部门：中华人民共和国工业和信息化部

批准部门：中华人民共和国住房和城乡建设部

施行日期：XXXX 年 XX 月 XX 日

中国计划出版社

XXXX 北京

前言

本规范是根据原建设部《关于印发〈2006 年工程建设标准规范制订、修订计划（第二批）〉

的通知》（建标[2006]136 号）的要求，由信息产业电子第十一研究院有限公司会同有关单位共同

编制完成。

本规范在编制过程中，编写组根据我国特种气体系统各类站房的设计、建造和运行的实际情

况，进行了广泛的调查研究，同时考虑我国特种气体的技术来源情况，对国外的有关规范进行了

研读，并在全国范围内广泛向有关单位或个人征求意见，最后经审查定稿。

本规范共 13 章和 4个附录。主要技术内容包括：总则、术语、特种气体站房、特种气体工艺

系统、硅烷站、特种气体输送、建筑结构、电气与防雷、生命安全系统、给水排水及消防、采暖

通风与空气调节、特种气体工程施工、特种气体系统验收等。

本规范中以黑体字标志的条文为强制性条文，必须严格执行。

本规范由住房和城乡建设部负责管理和对强制性条文的解释，由工业和信息化部负责日常管

理，由信息产业电子第十一设计研究院有限公司负责具体技术内容的解释。在执行本规范的过程

中，请各单位结合工程实践，认真总结经验，如发现需要修改或补充之处，请将意见和有关资料

寄至信息产业电子第十一设计研究院有限公司（地址：四川成都市双林路 251 号，邮政编码：

610021，传真：028-84333172，E-mail：edri11@edri.cn），以供今后修订时参考。

本规范主编单位、参编单位、参加单位、主要起草人员和主要审查人员：

主编单位：信息产业电子第十一设计研究院有限公司

中国电子系统工程第二建设有限公司

参编单位：上海正帆超净技术有限公司

中国电子工程设计院

中国电子科技集团公司第五十八研究所

上海华虹 NEC 电子有限公司

成都爱德工程有限公司

参加单位：上海兄弟微电子技术有限公司

主要起草人员：李骥王开源薛长立杜宝强黄勇

李东升江元升欧华星张家红夏双兵

陆崎李少洪王凌旭张强顾爱军

陈奕弢崔永祥

主要审查人员：陈霖新阚强万铜良陈关夫汤有纶

周礼誉侯文川杨琦丁柯

1 总则...............................................................................................................................................1

2 术语...............................................................................................................................................2

3 特种气体站房.......................................................................................................................................5

3.1 一般规定...................................................................................................................................5

3.2 特种气体站房分类...................................................................................................................5

3.3 特种气体设备的布置...............................................................................................................6

4 特种气体工艺系统...............................................................................................................................7

4.1 一般规定...................................................................................................................................7

4.2 特种气体输送系统...................................................................................................................7

4.3 吹扫和排气系统.......................................................................................................................8

5 硅烷站.................................................................................................................................................10

5.1 硅烷站工艺系统.....................................................................................................................10

5.2 硅烷站的布置.........................................................................................................................10

5.3 安全技术措施.........................................................................................................................12

5.4 采暖通风与空气调节.............................................................................................................12

5.5 消防系统.................................................................................................................................13

6 特种气体管道输送系统.....................................................................................................................14

6.1 一般规定.................................................................................................................................14

6.2 材料选型.................................................................................................................................14

6.3 管道设计.................................................................................................................................14

6.4 管道标识.................................................................................................................................15

7 建筑结构.............................................................................................................................................17

8 电气与防雷.........................................................................................................................................18

8.1 配电与照明.............................................................................................................................18

8.2 防雷与接地.............................................................................................................................18

9 生命安全系统.....................................................................................................................................19

9.1 特种气体管理系统.................................................................................................................19

9.2 特种气体探测系统.................................................................................................................19

9.3 安全设施.................................................................................................................................20

9.4 特种气体报警的联动控制.....................................................................................................20

10 给水排水及消防...............................................................................................................................21

10.1 给水排水...............................................................................................................................21

10.2 消防.......................................................................................................................................21

11 采暖通风与空气调节.......................................................................................................................22

11.1 采暖通风...............................................................................................................................22

11.2 空气调节...............................................................................................................................22

12 特种气体系统工程施工...................................................................................................................23

12.1 一般规定...............................................................................................................................23

12.2 主要设备、材料进场验收...................................................................................................23

12.3 气瓶柜与气瓶架的安装.......................................................................................................24

12.4 阀门箱与阀门盘的安装.......................................................................................................25

12.5 特种气体管道安装...............................................................................................................25

12.6 特种气体管道改扩建工程施工...........................................................................................28

12.7 特种气体系统的检验...........................................................................................................29

12.8 尾气处理装置的安装...........................................................................................................29

12.9 生命安全设施安装...............................................................................................................29

13 特种气体系统验收...........................................................................................................................30

13.1 一般规定...............................................................................................................................30

13.2 设备验收...............................................................................................................................30

13.3 管路与系统验收...................................................................................................................30

13.4 气体探测/监控系统验收.....................................................................................................31

附录 A 特种气体管道氦检漏方法........................................................................................................33

附录 B 特种气体系统验收测试记录表................................................................................................34

本规范用词说明.......................................................................................................................................39

引用标准名录...........................................................................................................................................40

附：条文说明...........................................................................................................................................41

Contents

1 General provisions.........................................................................................................................1

2 Terms...................................................................................................................................................2

3 Speciality gases room...................................................................................................................5

3.1 General requirement...........................................................................................................5

3.2 Specialty Gases room classification ...........................................................................5

3.3 Gases Equipment layout.....................................................................................................6

4 Process system of speciality gases.........................................................................................7

4.1 General requirement...........................................................................................................7

4.2 Pipeline system of speciality gases ...........................................................................7

4.3 Purge and vent system.......................................................................................................8

5 Silane station...............................................................................................................................10

5.1 Silane process system.....................................................................................................10

5.2 Silane station layout.....................................................................................................10

5.3 Safety technology methods.............................................................................................12

5.4 HVAC.......................................................................................................................................12

5.5 Fire protection system...................................................................................................13

6 Pipeline of speciality gases...................................................................................................14

6.1 General requirement.........................................................................................................14

6.2 Materials selection.........................................................................................................14

6.3 Pipeline design.................................................................................................................14

6.4 Pipeline labeling.............................................................................................................15

7 Architecture and structure.......................................................................................................17

8 Electrical and lightning protection.....................................................................................18

8.1 Power distribution and lighting .................................................................................18

8.2 Lightning protection and grounding ...........................................................................18

9 Life safety system.......................................................................................................................19

9.1 Management system of speciality gases .....................................................................19

9.2 Detection system of speciality gases .......................................................................19

9.3 Safety provisions.............................................................................................................20

9.4 Inter control of gases alarm .......................................................................................20

10 Water supply & drainage and fire protection ...................................................................21

10.1 Water supply & drainage.................................................................................................21

10.2 Fire protection.................................................................................................................21

11 HVAC.................................................................................................................................................22

11.1 Heat and ventilation.....................................................................................................22

11.2 Air conditioning.............................................................................................................22

12 Engineering construction of speciality gases system ...................................................23

12.1 General requirement.......................................................................................................23

12.2 Site acceptance of main equipment and materials ...............................................23

12.3 Installation of GC and GR...........................................................................................24

12.4 Installation of VMB and VMP.......................................................................................25

12.5 Installation of speciality gases pipeline ...........................................................25

12.6 Engineering construction of revamp and expansion project of speciality gases

...........................................................................................................................................................28

12.7 Inspection and acceptance of speciality gases pipeline system ...................29

12.8 Installation of exhaust gases local scrubber facilities ...............................29

12.9 Life safety facilities.................................................................................................29

13 Inspection and acceptance of speciality gases system .................................................30

13.1 General requirement.......................................................................................................30

13.2 Inspection and acceptance of equipment .................................................................30

13.3 Inspection and acceptance of pipeline system .....................................................30

13.4 Inspection and acceptance of gases detection/monitoring system .................31

Appendix A: Helium test leakage of speciality gas ...............................................................333

Appendix B: Test record table of system acceptance .............................................................344

Explanation of Wording in this code.............................................................................................39

List of quoted standards...................................................................................................................40

Addition：explanation of provisons...............................................................................................41

1 总则

1.0.1 为了在电子工厂特种气体系统工程设计和施工中正确贯彻国家现行法律、法规，满足产品

生产要求，确保人身和财产安全，做到安全适用、技术先进、经济合理、环境友好，制定本规范。

1.0.2 本规范适用于新建、改建和扩建的电子工厂的特种气体系统工程的设计、施工和验收；不

适用于特种气体的制取、提纯、灌装系统的设计、施工和验收。

1.0.3 特种气体系统工程的设计、施工及验收除应符合本规范的规定外，尚应符合国家现行有关

标准的规定。

2 术语

2.0.1 特种气体 specialily gas

电子产品生产的、掺杂、外延、离子注入、刻蚀等工艺中使用的自燃性、可燃性、毒性、腐

蚀性、氧化性、惰性等特殊气体。

2.0.2 特种气体系统 speciality gas system

是指特种气体的储存、输送与分配过程的设备、管道和部件的总称。

2.0.3 特种气体间 speciality gas room

是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备，并

通过管道向用气设备输送特种气体的房间。

2.0.4 硅烷站 silane station

是指放置硅烷或硅烷混合气体钢瓶、钢瓶集装格、Y 型钢瓶、长管拖车或 ISO 标准集装瓶组、

硅烷气化装置、尾气处理装置、电气装置等，并通过管道向生产厂房供应硅烷气体的独立建筑物、

构筑物或区域。

2.0.5 数据采集与监视控制系统 supervisory control and data acquisition（SCADA）

是以计算机为基础的生产过程控制与调度自动化系统。它可以对现场的运行设备进行监视和

控制，以实现数据采集、设备控制、测量、参数调节以及各类信号报警等各项功能。

2.0.6 工厂设备管理控制系统 facility management control system（FMCS）

工厂公用设备的管理控制系统，一般只具有监视功能，不具有控制功能。

2.0.7 大宗硅烷系统 bulk silane system

是指容器水容积超过 250L 的硅烷系统，包括钢瓶集装格、Y 钢瓶、长管拖车(T/T)、ISO 标准

集装瓶组，以及数量超过 7 个的独立小钢瓶系统。

2.0.8 大宗特种气体系统

一般情况下，储存量大于 500L 的特种气体储存和送气系统。

2.0.9 液态特种气体系统

是指以液态输送、分配，在用户终端进行汽化的特种气体系统。

2.0.10 气瓶集装格 the bundle of gas cylinders

用专用金属框架固定，采用集气管将多只气体钢瓶接口并联组合的气体钢瓶组单元。

2.0.11 ISO 标准集装瓶组 ISO module

按国际标准组织（ISO）要求，允许安装在架子上的多个水容积不超过 1218L 的储罐或长管气

瓶的总称。

2.0.12 气瓶柜 gas cabinet (GC)

特种气体使用的封闭式气瓶放置与气体输送设备。

2.0.13 气瓶架 gas rack (GR)

特种气体使用的开放式气瓶放置与气体输送设备。

2.0.14 阀门箱 valve manifold box (VMB)

特种气体在输送过程中使用的封闭式管道分配箱体，用于向一个或多个工艺设备提供特种气

体。

2.0.15 阀门盘 valve manifold panel (VMP)

特种气体在输送过程中使用的开放式管道分配装置，用于向一个或多个工艺设备提供特种气

体。

2.0.16 低蒸汽压力气体 low vapor pressure gas

在室温下的饱和蒸气压小于 0.2MPa 的气体。

2.0.17 尾气处理装置 local scrubber

自燃性、可燃性、毒性、腐蚀性等气体的排气与吹扫气体的现场处理装置，处理后的尾气达

到规定排放浓度，并排入用气车间的排气管道。

2.0.18 气体探测系统 gas detector system(GDS)

设置在特种气瓶柜、气瓶架、阀门箱、阀门盘及其它特种气体输送设备与管道所覆盖区域，

通过检测本质气体或关联气体在空气中的浓度来判断本质气体的泄漏，从而发出声光报警信号、

提供探测数据的系统。

2.0.19 气体管理系统 gas management system(GMS)

包含特种气体探测系统、应急处理系统、工作管理系统、监视系统、数据传输与处理系统的

气体管理与控制系统的统称。

2.0.20 开敞式建筑 open area

立柱和墙面遮挡部分的面积小于外围面积 25%的建筑。

2.0.21 不相容性 incompatible

不同气体混合后即发生化学反应，释放出能量并对环境产生危害作用的特性。

2.0.22 卧式气瓶 horizontal cylinder

用于储存较多特种气体的气瓶。一般水容积为 500L，1000L。

2.0.23 自燃性气体 pyrophoric gas

常温下在空气中会发生自动燃烧的气体。

2.0.24 可燃性气体 flammable gas

指与空气（或氧气）能够形成一定浓度的混合气态，并遇到火源会发生燃烧或爆炸的

气体。

2.0.25 毒性气体 toxic gas

半数致死浓度超过 200ppm 但不超过 2000ppm 的气体。

2.0.26 剧毒性气体 virulent gas

半数致死浓度不超过 50ppm 的气体。

2.0.27 腐蚀性气体 corrosive gas

是指在一定条件下，对材料或人体组织接触产生化学反应引起可见破坏的气体。

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摘要：

UDC中华人民共和国国家标准PGB50646-2011特种气体系统工程技术规范Codefortechnicalofspecialitygassystemengineering（报批稿）XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施中华人民共和国住房和城乡建设部中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局联合发布中华人民共和国国家标准特种气体系统工程技术规范CodefortechnicalofspecialitygassystemengineeringGBXXXXX-XXXX主编部门：中华人民共和国工业和信息化部批准部门：中华人民共和国住房和城乡建设部施行日期：XXXX年XX月XX日中国计划出版社X...

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