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【法规】2022年10月施行《多晶硅安全生产规范》(征求意见稿)

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3.0 2024-07-19 0 0 107.02KB 25 页 1库币 海报
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AQ
中 华 人 民 共 和 国 安 全 生 产 行 业 标 准
AQ XXXX—20XX
Safety specification for polycrystalline silicon production
(征求意见稿)
附件 1
ICS 13.100
CCS C65
备案号
多晶硅安全生产规范
发 布
XXXX-XX-XX 发布 XXXX-XX-XX 实施
I
AQ XXXX—20XX
目次
前言..................................................................................II
1 范围................................................................................1
2 规范性引用文件......................................................................1
3 术语和定义..........................................................................2
4 设计与总图布局......................................................................3
4.1 基本规定........................................................................3
4.2 总平面布置......................................................................3
4.3 工艺及生产装置..................................................................3
4.4 防火、防爆设计与安全疏散........................................................4
4.5 电气设施........................................................................5
4.6 过程自动控制....................................................................5
4.7 消防设施........................................................................6
4.8 通风与排烟......................................................................6
4.9 危险化学品储存..................................................................7
5 生产过程安全........................................................................7
5.1 一般规定........................................................................7
5.2 生产装置开车基本要求............................................................8
5.3 生产装置停车基本要求............................................................8
5.4 三氯氢合成......................................................................8
5.5 氯硅烷分离.....................................................................10
5.6 三氯氢硅还原...................................................................10
5.7 还原尾气干法回收...............................................................11
5.8 四氯化硅冷氢化..................................................................12
5.9 二氯二氢硅反歧化................................................................12
5.10 废气淋洗.......................................................................13
附录 A(规范性)多晶硅生产火灾危险性分类...............................................15
附录B(规范性)多晶硅生产场所空气中主要有毒物质及粉尘容许浓度..........................16
附录C(资料性)多晶硅生产过程中的危险、有害因素........................................19
附录 D(资料性)多晶硅生产安全规章制度目录.............................................21
附录E(资料性)多晶硅企业重大生产安全事故隐患判定标准..................................22
II
1.1.1.1.1.1 AQ XXXX—20XX
前言
本文件按照GB/T 1.1—2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定起草
请注意本文件的某些内容可能涉及专利,本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由中华人民共和国应急管理部提出。
本文件由全国安全生产标准化技术委员会化学品安全分技术委员会(SAC/TC288/SC3)归口。
本文件起草单位:中国氟硅有机材料工业协会、中国化学品安全协会、四川永祥股份有限公司、江
苏中能硅业科技发展有限公司、新疆大全新能源股份有限公司、合盛硅业股份有限公司、同轨科技成都
有限公司、华陆工程科技有限责任公司、四川晨光工程设计院有限公司。
本文件主要起草人:李斌,程长进,杨武明,郑东昊,罗王世棋兰云韩洪流王路
贾敏,程渝峰陈宏愿
1
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多晶硅安全生产规范
1 范围
本文件了采用三氯氢硅还原法生产多晶硅的术语和定义,规定企业设计生产全过程的安
全技术基本要求,包括设计与总图布局中的安全要求、生产过程的安全要求。
本文件于采用三氯氢硅还原法工艺技术生产多晶硅的企业。
其他工艺技术生产多晶硅的生产企业可执行
2 规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用构成本文件不可条款中,注日期的引用文件
仅该日期对应的本文件不注日期的引用文件,其最本(包括所有的修改单)
文件。
GBZ/T 223 工作场所有毒气体检测报警装置设置规范
GB 2894 安全标其使用导则
GB 5083 生产设安全生设计总则
GB 7231 工业管的基本识别、识别符号和安全标识
GB 12158 防止静电事故通用导则
GB 15577 粉尘防爆安全规程
GB 16297 大气污染合排标准
GB/T 38144.1 面部防 应急淋和洗 第1部分:技术要求
GB/T 38144.2 面部防 应急淋和洗 第2部分:使指南
GB 50016 建筑设计防火规范
GB 50057 建筑物防设计规范
GB 50058 爆危险环境装置设计规范
GB 50073 洁净厂房设计规范
GB 50140 建筑灭器配置设计规范
GB 50160 石油化工企业设计防火标准
GB 50177 氢气设计规范
GB 50257 爆和火灾危险环境装置施工及收规范
GB 50316 工业金属设计规范
GB 50351 储罐区防火设计规范
GB 50370 气体灭系统设计规范
GB/T 50493 石油化工可和有毒气体检测报警设计标准
GB 50650 石油化工装置防设计规范
GB 50974 消防给水及消火栓系统技术规范
GB 51034 多晶硅工设计规范
GB 51283 精细化工企业工程设计防火标准
AQ 3013 危险化学品业单位安全标准化通用规范
HG/T 21581 自控安装图
SH/T 3097 石油化工接地设计规范
2
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3 术语和定义
下列术语和定义本文件。
3.1
多晶硅 polycrystalline silicon
单质硅的一种形态,硅原子以格形态成许多晶些晶长成晶面取向不同的晶,晶
合结晶成多晶硅。
3.2
三氯氢硅还原法trichlorosilanehydrogenreduction process
一定高纯芯上高纯氢还原高纯三氯氢硅,芯上沉积生长多晶硅时具备回收
利用生产过程中伴随产生的氢气、氯化氢、四氯化硅等副产物能,大限度地实现“物料内
循环、能量综合利用的多晶硅生产工艺。
3.3
还原炉 reduction furnace
生产棒状多晶硅的专用化学气相沉积
3.4
氯硅烷 chlorosilane
SiH4)中的氢原子取代后的物质常包括SiCl
4SiHCl
3
SiH2Cl2、SiH3Cl等
3.5
还原尾气 reduction off-gas
还原内生成多晶硅的反应过程中,反应全的原料和生成的产物的合气,主要包括
气、气氯硅烷及氯化氢、不定
3.6
二氯二氢硅反歧化dichlorodihydrosilicon anti-disproportionation reaction
二氯二氢硅和四氯化硅一定度和作用生成三氯氢硅的反应。
3.7
主工艺物料系统 main process material system
包括氯硅烷提纯系统、还原系统、还原尾气干法回收系统、三氯氢硅合成系统、四氯化硅氢化系统
二氯二氢硅反歧化系统、废气淋洗系统渣浆回收系统、氯硅烷罐区
3
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4 设计与总图布局
4.1基本规定
4.1.1 多晶硅生产企业的新改建扩建项目,安全设施应与主工程同设计、同施工、同时投
生产和使用。
4.1.2 生产、储存危险化学品的多晶硅生产企业应当对建目进安全论证,委托具有国
规定资质件的机构对建目进安全评价
4.1.3多晶硅生产企业用生产、储存危险化学品的目应委托具有工程设计合资质甲级或者
化专业资质甲级的设计单位责设计。
4.1.4 多晶硅生产企业用生产、储存危险化学品的目应委托具有化工应资质的设单位
责施工。
4.2 总平面布置
4.2.1 多晶硅生产企业的总平面布置应合GB 51034的有规定。
4.2.2 厂区消防通设计应合GB 50016和GB 50160的有规定。
4.2.3 多晶硅生产企业的总平面布置应根据生产工艺程、生产特点和火灾危险性,结合地形、风向等
件,按中原则分布置,可分生产、公用工程及辅助设施、储运区中控制行政办
4.3 工艺及生产装置
4.3.1 工艺选择、设备选型及工艺布置,应根据多晶硅生产主要物料的易燃易爆、有毒及火灾危险
危害定,选择符合国标准、安全可的工艺设程。安全设设施的设计、制、安装、
使用、检测维修等合国标准的规定。
4.3.2 工艺生产系统内的设、管的材质及管件,应根据物料性质和工况条选取采取相
应的安全防护措;金属的材料、成件的用、布置应合GB 50316的要求。
4.3.3 生产设具备基本安全能,合GB 5083的通用安全要求。锅炉压力压力、电
、电动葫芦供垂直运输物品的升降机、等特种当符合国法规和标准的要求。
4.3.4 工业管的识别、识别符号、安全标识应合GB 7231和GB 2894的要求。
4.3.5 生产工艺排放点均应设空装置,期检查其性。通过排气空管直接向大气排
放无环境污染空气,排气空管的度应 GB 50160 的有规定。不应导出管置于下
水道等限制性空以免引起爆空管宜选金属材料或者采取施的非金属材料。空管
应设有火设施,应接地。管口应有挡雨阻雪施。可体连续对空排应安装
气置
4.3.6 化工序宜使式或套式汽氯全化工艺,度不应低于71
议热水温度应控制75℃~85。不应将液贮槽)、或半挂槽罐直接为液器使用。
热交换器等,应装有排NCl3)装置和理设施, NCl3含量
物中NCl3含量不应大60 g/L需增加次数和排污量加强监
4.3.7 主工艺物料系统应设安全、爆破片、事故急排稀释安全设施。还原
、三氯氢硅合成天然气制氢等系统应设置安全阀等安全设施。
4.3.8 备采制工艺设置电磁屏蔽
4.3.9 腐蚀清洗工腐蚀清洗设内,酸腐蚀部位应设置制通风,废气应放;输
强酸的管双层管,外层宜采乙烯(PVC)腐蚀、防施。
4.3.10 化、氯化氢与三氯氢硅合成、储罐区、四氯化硅氢化、提、还原尾气干法回收、渣浆
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回收存有氯气、氯硅烷的装置内应照GB/T 38144.1和GB/T 38144.2相关条款设置洗和洗设施
4.3.11 有爆危险的类火灾危险性的设备宜露天或半露天布置,有工艺洁净要求有防
防风限制的设的多晶硅还原、电制氢装置采取可布置封闭建筑内。
4.3.12 涉及氯硅烷的系统宜采用气密试验;水压验后对系统
≤-40
4.4 防火、防爆设计与安全疏散
4.4.1 厂房的防火分、疏散口布置及疏散离应合GB 50016的有规定;厂房洁净区的防火
设计应合GB 50073的有规定。
4.4.2 装置框架结构结构的合GB 50160的有规定。
4.4.3 罐区的防火设计应合GB 50351的有规定。
4.4.4 类多厂房各层由不同房间组层划分防火分,疏散
闭楼梯间或室外楼封闭楼梯间室外楼的设计应按GB 50016的规定执行封闭楼梯间
防火疏散双扇门具备启闭能。
4.4.5 同一防火分内有不同性质的物料生产火灾分类,应按火灾危险性大的部分定。多晶
硅生产火灾危险性分类见附录A。
4.4.6 危险分应按GB 50058的有规定执行。有爆危险的厂房的设置
应按GB 50016的有规定执行人员安全疏散采取护措施。
4.4.7 还原等甲类火灾危险性有防爆要求的厂房内不应设置休息室如需要设
更衣室、工间等辅助房间辅助房间应设置还原室端墙贴邻
限不低于4.0h的不燃体防爆防与还原;当防爆防墙兼防火限不低于4.0h
4.4.8 还原系统压器功器高压炉体水系统等辅助房间,应与还原布置
不同的间或防火分内,采取防火、防爆防、防火楼板,平面布置应合GB 50016
的有规定。
4.4.9 还原有通风设施的面。外墙下列规定:
a合GB 50016 的有规定
b设施应易于脱落屋盖易于。作
自重不得超过60kg/,材料的性能等级A级;
c设施的材质不属于易性材料,爆设置应开人员场所和主要道路
4.4.10 制氢装置房间辅助房间应用防爆防,制氢装置房间应设置面,
和设置要求应合GB 50016的有规定,同满足GB50177的有规定。
4.4.11 控制建筑贴邻建造时分成独立的防火分贴邻建筑危险
,应采取防爆防护措施,建筑的安全出口不应有爆危险的装置。
4.4.12 下列场所可不计入建筑防火分内:
a)防烟梯间;
b) 消防电合用前
c)设置甲级防火封闭楼梯间
4.4.13 电所不应设置在甲厂房贴邻建造不应设置性气、粉尘环境的危险
内。供甲厂房专用的20kV以下电所,当采门窗洞口的防火墙隔贴邻建造时
下列规定:
a)有含油电所可一面贴邻建造;
b无油电所可一面贴邻建造
4.4.14 因工艺生产的求,厂房相邻外墙需设置通口,应采取相应的防火施,邻外
的防火及构要求应合GB 50016及GB 51283的有规定。
5
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4.5电气设施
4.5.1 防雷、防静电
4.5.1.1 生产作业场所的、构物应设置防设施。防雷措施及防装置应合GB 50057和GB
50650的要求。防设施应由有资质的单位进设计、安装和检测
4.5.1.2 生产作业场所内可能产生电危害的设及管,应按GB 12158和SH/T 3097的要求采取工业
接地措施。使用、储存、、装运输易燃易爆物品(、氯硅烷、导热油、产生可
性粉料)的装置(反应、提换热、储送泵、装设施和过易燃液体、气
道阀)、装场所及产生易燃易爆的生产设施位应有接地措施。专设的接地
不应大100Ω
4.5.1.3 制氢装置、氢气储罐区、氢气、氯硅烷罐区等危险,应设置人
体静电消装置。
4.5.2 防火、防爆、电气安全
4.5.2.1 危险分应根据工艺装置特点确定,合GB 50058的有规定。
4.5.2.2 制氢装置、氯化氢合成装置、三氯氢硅合成装置、氯硅烷分离提装置、三氯氢硅还原装置、
还原尾气干法回收装置、四氯化硅氢化装置、氢气和氯硅烷罐区等性气体环境中电气装置的选型
合GB 50058的有要求。硅粉硅粉吨袋密封装,且转、存储过程中拆卸裸露硅粉
硅粉内用电设可不考虑粉尘防爆和气防爆粉尘爆炸环境尘可导
炸环境,电气设施应满足粉尘防爆环境要求。
4.5.2.3 危险场所的电气设线的设计和安装应合GB 50058和GB 50257的规定。
4.5.2.4 场所的电气设施防爆等级见附录A。
4.5.2.5 控制DCS系统、火灾报警系统系统呼叫系统、应急照明系统、消防、消
防排烟风机、还原炉体、还原、还原、回收洗液循环
装置废气洗系统、工艺废气洗循环属于级负,由重电源电。
4.5.2.6 还原理装置废气洗系统、工艺废气洗循环、消防、消防排烟
风机用电,应属于级负中的别重要应由电源设应急电源。
4.6 过程自动控制
4.6.1 控制及装置控制应设置不电源(UPS),连续供时间不应30 min
4.6.2 制氢装置、氯化氢合成装置、三氯氢硅合成装置、还原、还原尾气干法回收装置、四氯化硅
氢化装置、氢气和氯硅烷罐区、氢气房等危险内,应按GB/T 50493和GBZ/T 223的要求设
置可及有毒气体检测报警
4.6.3 和有毒气体检测报警送至24有人值守场控制、中控制显示
报警;级报警、可和有毒气体检测报警系统报警控制单的故障信送至消防控
4.6.4 易燃易爆装置内的管与仪表检测件、电气设线箱线盒当符HG/T
21581GB 50257的有要求。
4.6.5 氯硅烷罐区、还原、冷氢化装置和重大危险源场所应设置视频监系统并根据危险
等级的防爆视频监控设
4.6.6 二氯二氢硅、三氯氢硅等易燃液体不应使玻璃位计。
4.6.7 四氯化硅氢化热器和导热油热器温度控制装置宜采冗余置,。氢化反应
系统中的安全附件、安全装置、测量控装置及有全、有
4.6.8 三氯氢硅合成、还原、四氯化硅氢化、还原尾气干法回收、电制氢、氯硅烷罐区等装置
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根据物料的危害性和工况条件设置仪表检测报警、自动联锁保护系统、消防应急系统
4.6.9 生产场主要出及有人可能出、有毒气体积相对封闭的场所,应设
域声报警器
4.6.10 构成一、二重大危险源的罐区应能实现切断涉及毒性气化气
的一、二重大危险源的罐区配备独立的安全仪表系统
4.7 消防设施
4.7.1 多晶硅工应按GB 50016、GB 50160、GB 50974、GB 50370和GB 50140的有规定设置消防设施
4.7.2 制氢装置、氯硅烷罐区、四氯化硅氢化装置、还原、还原尾气干法回收主要火灾危险场所
及公用工程辅助设施应设置火灾报警系统并配备灭火设施。
4.7.3 多晶硅工应设置高压消防给水系统
4.7.4 装置、储罐区应按GB 50160的有规定设置消防。氯硅烷罐区宜采式水喷
水喷淋)系统消防冷水系统
4.7.5 三氯氢硅合成装置、还原厂房、还原尾气干法回收装置、四氯化硅氢化装置、氯硅烷储罐区等
及氯硅烷物料的装置和硅粉置消防干。氯硅烷储罐区砂箱不应少于2/装置砂箱
不应少于1/
4.7.6 还原厂房柜室设置气体灭系统合GB 50370的有规定。
4.7.7 厂房洁净区消防设施按GB 50073执行
4.7.8 生产作业场所应按GB 50140的规定根据火源及火物质性质,配备适当种类、足够数的消防
材,期检查保持效状态扑救初三氯氢硅、二氯二氢硅等甲液体用干粉
,同时配备氮气管线应急。
4.8 通风与排烟
4.8.1 生产过程中产生粉尘、可有毒气体或烟尘的作业场所,无组至室外合GB 16297及
他相关标准,应设机通风,前应采取净施,到相关污染物排标准的要求。多
晶硅生产场所空气中主要有毒物质及粉尘容许浓度、多晶硅生产过程中的危险、有害因素分别见附录B、
附录C。
4.8.2 防排烟系统的设计应合GB 50016的有规定。
4.8.3 还原房间相对于非防爆如更衣、与后处理车洁净连,应保持微负压,局部排
风与排风应下列规定:
a) 还原应设局部排风、排风与事故排风系统,总排风不应12/h次数
b) 排风机应合防爆要求,事故风机电源应接入应急电源,应与可有毒报警仪联锁
c) 事故排风机用风机
d) 事故风口缘至顶板离不应大0.1m
e) 风管应采取接地措施。
4.8.4 腐蚀清洗、酸柜排出的性废气,应用局部排风,所性废气应酸雾
行处理。
4.8.5 、硅破碎产生粉尘的生产工艺,应设置过滤除系统按GB 15577设置粉尘防爆
4.8.6 芯炉墨煅烧房等应设置排风系统,通风次数应大于等于6/h
4.8.7 洁净区排风管采取室外空气倒灌施。
4.8.8 力站房应有良好的通风施,宜采用自通风;当通风不能满足生产安全、生要求
,应设置机通风通风与机通风合的通风
4.9 危险化学品储存
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4.9.1氯硅烷罐区应按照该罐区大储的容设置事故储
4.9.2 储存氯硅烷的储设置性气密封保护系统工艺要求设置氢气密封保护系统的,应同
设置护系统况下应能程控制通入氮气,气管应设置防物料互串设施。
5 生产过程安全
5.1 一般规定
5.1.1 企业应当根据工艺、装置、设施等实际情立健全安全生产责任制和安全生产规章制度,主
要的安全生产规章制度见附录D。
5.1.2 企业应按附录E,每年开展重大生产安全事故隐患排,及重大生产安全事故隐患,有
防范制重大生产安全事故。
5.1.3 企业应工艺或投用前,织编作规程。
5.1.4 企业应作规程发放到相关位,并对人员进门培训经考格后
5.1.5企业应明确评安全生产规章制度和作规程的机和频次,定行评
性和用性。
5.1.6 企业作人员应格执行作规程,工艺运行调整工艺
控制不出安全限偏差纠正
5.1.7 企业应细核对控制多晶硅生产的工艺技术标,重要的控制标应设管理控制
标应有应的工艺变更手
5.1.8 企业应按照安全作规程进生产设作。
5.1.9 多晶硅系统运行过程中,的储补充使用的高纯氢气。同设置
护系统况下应能程控制通入氮气,气管应设置防物料互串设施。
5.1.10 企业应气安全使用管理制度。
5.1.11 企业应对输硅粉、渣浆等物料的磨损线、设壁厚期检测磨损发生
5.1.12 企业应根据危害因素和安全风险识及评价,按呼吸、面部防护等标准,
制定动防用品发和管理制度。具体包含不限
a)进硅粉添加、硅粉排理、硅块破碎粉尘环境作业,应穿戴防尘、防尘口
b)涉及到液相物料的管线打开,物料添加作业,应、面耐酸碱手耐酸碱
、防化
c)进涉及危化品的限空根据物料性应穿戴用品,应使用长管呼吸
压式风机通风设施
d)进危险性装置,应穿装,身携应急防用品
e其他动防管理应合国相关标准。
5.1.13 企业应开展动防用品使培训使确使动防用品的人员进
5.1.14多晶硅企业应消防。中多晶硅企业,区或相企业有专消防
防应急人员能5分钟之企业范围内的,可委托其他消防企业应急援队企业要
之签相关合同,不能相关合同,或其他消防应急人员不能5分钟之,中
消防消防员应包含消防车驾驶员、输水员、人员,不能低于
8人,消防应24有人值守
5.1.15 企业应工艺,工艺应由技术、设仪表、电气专业人员和生产一线
成,能满足大风险的应急要。企业应定开展、应急援演练

标签: #安全 #法规

摘要:

AQ中华人民共和国安全生产行业标准AQXXXX—20XXSafetyspecificationforpolycrystallinesiliconproduction(征求意见稿)附件1ICS13.100CCSC65备案号多晶硅安全生产规范中华人民共和国应急管理部发布XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施IAQXXXX—20XX目次前言..................................................................................II1范围...........................................

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