变更作业《变更前查核表》

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变更作业《变更前查核表》

一、变更内容概述：

二、变更地点（详细到柱位或机台编号）：

三、变更目的：

四、变更前内容 (相关内容得以会议记录当成附件说明；涉及线路或管路的变更请详细绘出修

改前之线路或管路图，如篇幅不足，请附图于后：

五、更后内容(相关内容得以会议记录当成附件说明；涉及线路或管路的变更请详细绘出修改后

之线路或管路图，如篇幅不足，请附图于后：

六、相关人员权责：

申请部门：变更申请人：联络电话：

预计启动日期：

七、相关环境安全健康风险变更前查核表：

序

No.

变更范围查核项目查核结果 (勾选)

1使用新化品、注

销化学品、改变制

程化学品操作条件

或产生新的有害废

弃物

01.尚未召开变更前会议？ (提醒您：根据程序的规

定，申请者必須召开「变更前会议」邀集变更相关部

门人员，并将变更会议的结论列入 Action Plan 中追

踪管理，您的变更需求申請才会获得相关部门主管的

批准。)

是 否 不适用

02.是否增加制程机台所使用之制程化学品浓度超过

原有浓度 10%？

是 否 不适用

03.是否升高或降低制程机台之制程化学品操作温度

超过原有温度 10%？

是 否 不适用

04.是否升高或降低制程机台之制程化学品操作压力

超过原有压力 10%？

是 否 不适用

05.是否使用新化学品？ 是 否 不适用

06.是否升高制程机台之操作温度超过制程化学品自

燃温度？

是 否 不适用

07.是否将既有化学品运用于新制程技术？ 是 否 不适用

08.是否会影响 Local Scrubber 或 Burn Tube 处理能

力或处理效率？

是 否 不适用

09.是否影响 Central Scrubber 系统之处理能力或处理

效率？

是 否 不适用

10.是否影响废水系统之处理能力或处理效率？ 是 否 不适用

11.是否须增加新化学品的供应系统之管路标示？ 是 否 不适用

12.是否须增加新化学品和新有害性废弃物暂存场所

的第二道防漏设施（second containment）与泄漏侦测

系统？

是 否 不适用

13.是否须增加新化学品和新有害性废弃物需要使用

的特殊灭火器或新型紧急应变器材？?

是 否 不适用

14.是否需更新相应之环境安全健康程序？ 是 否 不适用

15.是否须更新中文版的化学品安全技术说明书

【MSDS/CSDS】？

是 否 不适用

16.是否须更新中文版化学品安全标签？ 是 否 不适用

17. 是否是使用新的化学品或接触新的危害而改变

PPE？

是 否 不适用

18.是否因使用新化学品而产生新的有害性废弃物？ 是 否 不适用

19.是否移除或增加气体侦测系统？ 是 否 不适用

20.是否增加或移除 Local abatement system (包括

Local Scrubber，Burn Tube 或Cold trap) 型式.

是 否 不适用

21.是否须变更废水处理工艺（包括新建、改建、扩

建）?

是 否 不适用

22.是否须变更 PM 内容和 PM 周期?是 否 不适用

23.是否须完成环境考量面或显著环境考量面的填写?是 否 不适用

序

No.

变更范围查核项目查核结果 (勾选)

24.是否移除或增加火灾报警系统？ 是 否 不适用

25.是否改变火灾报警系统型式？ 是 否 不适用

26.或是否须更新机台的风险评估？是 否 不适用

27.以后不再使用的化学品尚未通知 ESH 注销此化学

品？

是 否 不适用

28.计划采购之新化学品【含各种形态】是否属于公

司所列管之环境禁用物质？

是 否 不适用

29.计划采购之新化学品【含各种形态】是否会构成

重大危险源?

是 否 不适用

30.计划采购之新化学品【含各种形态】是否属于剧

毒品？易制毒化学品？易制爆化学品？___________

是 否 不适用

31.计划采购之新化学品【含各种形态】是否属于导

致化学品中毒的职业病危害因素？

是 否 不适用

202.危害性物质之

输送或排放管路变

更

01.尚未召开变更前会议？（提醒您：根据程序的规

定，申请者必須召开「变更前会议」邀集变更相关部

门人员，並將变更会议的结论列入 Action Plan 中追

踪管理，您的变更需求申請才会获得相关部门主管的

批准。）

是 否 不适用

02.变更后的危害性输送管路、drain 排放管路或

exhaust duct 材质是否不符合操作条件（温度、压力

及浓度）？

是 否 不适用

03.是否改变危害性输送管路、drain 排放管路或

exhaust 原始 layout？

是 否 不适用

04.是否改变危害性输送管路、drain 排放管路或

exhaust 原始管径？

是 否 不适用

05.危害性输送管路、drain 排放管路或 exhaust 上之阀

件是否移除或增加？

是 否 不适用

06.Drain 排放废液是否与原废液收集槽之废液不兼

容？

是 否 不适用

07.Drain 排放废液是否会增加废液处理负荷（包括处

理技术不够）？

是 否 不适用

08.是否增加或移除 Local abatement system (包括

Local Scrubber，Burn Tube 或Cold trap) 型式?

是 否 不适用

09.危害性输送管路、drain 排放管路或 exhaust 上所增

加或新使用之阀件是否不符合操作条件（温度、压力

及浓度）？

是 否 不适用

10.变更后的管路是否会产生破真空问题？是 否 不适用

11.变更后的管路是否会产生高压问题？是 否 不适用

12.变更后的管路是否会产生回流(back stream)问题？是 否 不适用

13.变更后之 exhaust 是否影响排气能力？ 是 否 不适用

序

No.

变更范围查核项目查核结果 (勾选)

14.变更后之危害性输送管路、drain 排放管路或

exhaust 是否影响其它安全设施（消防系统、火警报

警系统与冲身洗眼设备）之正常运作?

是 否 不适用

15.是否须增加新的危害性输送管路、drain 排放管路

或exhaust 消防设施？

是 否 不适用

16.是否需更新管线和仪器的线路图？ 是 否 不适用

17.变更后的危害性输送管路、drain 排放管路或

exhaust duct 材质是否与所运送之危害性化学物质不

兼容？

是 否 不适用

18.是否降低防火门、墙或地板之防火等级？是 否 不适用

19.防火或防爆墙上之穿墙作业是否影响其防火或防

爆能力

是 否 不适用

20.是否改变或破坏原始设计的防火时效功能?是 否 不适用

21.是已经完成环境风险分析的填写?是 否 不适用

303.冲身洗眼器的

变更。

01.尚未召开变更前会议？ 是 否 不适用

02.是否改变 Safety Shower 之位置？是 否 不适用

03.是否改变 Safety Shower 之构造？是 否 不适用

04.是否改变 Safety Shower 之正常功能？ 是 否 不适用

05.Safety shower 是否离化学品使用点在10 秒钟步行

的距离之外？

是 否 不适用

06.safety shower 移位后是否会产生人员触电等伤害？ 是 否 不适用

07.是否改变危害性输送管路、drain 排放管路或

exhaust 原始 layout？

是 否 不适用

08.Drain 排放废液是否与原废液收集槽之废液不兼

容？

是 否 不适用

09. 变更位置是否与 IE 的layout 相符合?是 否 不适用

10.是否影响主逃生走道？ 是 否 不适用

404.气体和火警侦

测系统变更。

01.尚未召开变更前会议？ 是 否 不适用

02.是否改变气体侦测系统型式？ 是 否 不适用

03.是否改变气体侦测系统取样点？ 是 否 不适用

04.是否移除或增加气体侦测系统？ 是 否 不适用

05.是否改变气体侦测系统设定的报警值？是 否 不适用

06.是否延长气体侦测系统校正周期？ 是 否 不适用

07.是否影响气体侦测系统有效性？ 是 否 不适用

08.是否改变侦测系统原有覆盖区域？是 否 不适用

09.是否需要更新气体侦测系统干扰表?是 否 不适用

10.是否需更新 PM 程序与 PM 周期？ 是 否 不适用

11.是否需更新相应之环境安全健康程序？ 是 否 不适用

12.是否改变火灾报警系统型式？ 是 否 不适用

序

No.

变更范围查核项目查核结果 (勾选)

13.是否移除或增加火灾报警系统？ 是 否 不适用

14.是否改变火灾报警系统之分区？是 否 不适用

15.是否改变火灾报警系统警告值设定？ 是 否 不适用

16.是否延长火灾报警系统校正周期？ 是 否 不适用

17.是否影响火灾报警系统有效性？ 是 否 不适用

18.是否改变火灾报警系统原有涵盖范围?是 否 不适用

19.是否违反法规规定?是 否 不适用

505.消防系统、公

共广播系统、火灾

或爆炸风险变更。

01.尚未召开变更前会议？ 是 否 不适用

02.是否改变公共广播系统型式？ 是 否 不适用

03.是否改变公共广播之广播器位置？是 否 不适用

04.是否改变公共广播原有广播分区？是 否 不适用

05.是否改变公共广播之正常功能？ 是 否 不适用

06.是否影响消防主泵供水能力？ 是 否 不适用

07.是否改变消防洒水头的覆盖区域？是 否 不适用

08.是否移除或降低防烟垂壁之能力？ 是 否 不适用

09.是否移除或降低排烟系统之能力？ 是 否 不适用

10.是否改变消防泵的泄压装置压力设定？ 是 否 不适用

11.是否改变消防泵的启动压力？ 是 否 不适用

12.是否改变消防管道补压泵的启动压力？ 是 否 不适用

13.是否改变消防系统安全保护开关？ 是 否 不适用

14.是否降低消防水储槽的储存能力或所储存水的容

量？

是 否 不适用

15.是否改变消防主管道的供水能力或防冻等级以及

影响消防水系统的抗冻能力？

是 否 不适用

16.是否增加/减少警报逆止阀的数量和位置？是 否 不适用

17.是否移除处于使用状态的消防洒水头？是 否 不适用

18.是否改变消防洒水头的温度设定或位置？是 否 不适用

19.是否改变 CO2 全淹没式灭火系统报警与喷放之间

的时间延迟？

是 否 不适用

20.是否改变 CO2 全淹没灭火系统的覆盖区域？是 否 不适用

21.是否改变 CO2 全淹没灭火系统的喷放速率及浓

度？

是 否 不适用

22.是否改变消防器材的种类或型号？ 是 否 不适用

23.是否改变现有灭火器布置或型式？ 是 否 不适用

24.是否减少消防栓数量或移动消防栓位置？是 否 不适用

25.是否改变排烟系统或档烟垂壁原始设计？ 是 否 不适用

26.是否改变消防系统型式？ 是 否 不适用

27.是否改变消防系统原始设计？ 是 否 不适用

28.是否降低防爆区内所使用防爆设施之防爆等级？是 否 不适用

序

No.

变更范围查核项目查核结果 (勾选)

29.是否改变防火区划？是 否 不适用

30.是否降低防火门、墙或地板之防火等级？是 否 不适用

31.防火或防爆墙上之穿墙作业是否影响其防火或防

爆能力？

是 否 不适用

32.是否改变或破坏原始设计的防火时效功能?是 否 不适用

33.是否违反本地消防法规要求？ 是 否 不适用

34.消防系统变更是否需要相关政府消防机构核准？ 是 否 不适用

35.爆炸风险变更是否需要相关政府部门或单位进行

安全验收？

是 否 不适用

606.设备或设施之

安全装置、电气危

害风险、辐射危害

风险变更。

01.尚未召开变更前会议？ 是 否 不适用

02.是否移除设备或设施原始安全装置？是 否 不适用

03.是否增加设备或设施原始安全装置？是 否 不适用

04.是否改变设备或设施安全装置设定值？是 否 不适用

05.是否延长设备或设施原始安全装置检测周期？ 是 否 不适用

06.是否改变设备或设施原始安全装置操作位置？是 否 不适用

07.是否改变设备或设施消防系统设计？ 是 否 不适用

08.是否使操作人员暴露于电气危害中？ 是 否 不适用

09.是否 bypass 人员感电防止装置？是 否 不适用

10.是否会导致电路过载？是 否 不适用

11.是否影响紧急电源切换功能？ 是 否 不适用

12.是否移除接地装置或影响接地功能是 否 不适用

13.是否变更设备的供电系统？ 是 否 不适用

14.是否须增加新的电气危害保护标示？ 是 否 不适用

15.是否须增加新的电路过载保护？是 否 不适用

16.是否需要更新个人防护具规格?是 否 不适用

17.是否需更新相应之环境安全健康程序？ 是 否 不适用

18.是否产生新辐射源？是 否 不适用

19.是否移除辐射屏蔽装置？是 否 不适用

20.是否移除辐射泄漏侦测装置？是 否 不适用

21.是否移除接地装置或影响接地功能？ 是 否 不适用

22.是否需更新个人防护具规格?是 否 不适用

23.是否需更新相应之环境安全健康程序？ 是 否 不适用

24.是否存在高温对Parts 的影响？ 是 否 不适用

25. 是否需要向疾病控制中心（CDC）申请辐射危害

评价或豁免？

是 否 不适用

707.制程尾气之本

地、中央处理系统

变更。

01.尚未召开变更前会议？ 是 否 不适用

02.是否变更制程尾气处理设备型式?是 否 不适用

03.是否须变更废气排放管路?是 否 不适用

04.是否须变更 Exhaust 材质?是 否 不适用

序

No.

变更范围查核项目查核结果 (勾选)

05.是否须变更处理系统的设计处理量?是 否 不适用

06.废气处理系统是否须接受新的废气?是 否 不适用

07.是否须变更设计参数超过 30％（pH、液位、流

量、加药量、etc.）?

是 否 不适用

08.是否须变更系统设备

（Pump、Valve、Sensor、etc.）?

是 否 不适用

09.是否须变更废气处理工艺（包括新建、改建、扩

建）

是 否 不适用

10.是否须变更废气控制系统（控制盘、软

件、etc.）?

是 否 不适用

11.是否须变更 PM 内容和 PM 周期?是 否 不适用

12.是否须变更安全系统（PPE、逃生路线、冲身洗眼

器、etc.）?

是 否 不适用

13.是否须完成环境考量面或显著环境考量面的填写?是 否 不适用

14.是否影响火灾报警系统有效性？ 是 否 不适用

15.是否改变气体侦测系统取样点？ 是 否 不适用

16.是否移除或增加气体侦测系统？ 是 否 不适用

17.是否改变气体侦测系统设定的报警值？是 否 不适用

18.是否移除或增加火灾报警系统？ 是 否 不适用

19.如果变更属于新增环境污染源，是否需经环境保

护行政主管部门审批?

是 否 不适用

20.中央废气处理系统暂停运转、拆除、闲置或进行

改造等变更情况，是否需要经环境保护行政主管部门

审批?

是 否 不适用

808.废水处理系统

变更.

01.尚未召开变更前会议？ 是 否 不适用

02.是否须完成环境考量面或显著环境考量面的填写?是 否 不适用

03.是否须变更废水排放管路?是 否 不适用

04.是否须变更废水收集槽?是 否 不适用

05.废水收集槽是否接受新的废水?是 否 不适用

06.是否须变更废水输送管材质?是 否 不适用

07.是否须变更处理系统的设计处理量?是 否 不适用

08.是否须变更设计参数超过 30％（PH、液位、流

量、停留时间、加药量、etc.）?

是 否 不适用

09.是否须变更系统设备

（Pump、Valve、Detector、Sensor、etc.）?

是 否 不适用

10.是否须变更废水处理工艺（包括新建、改建、扩

建）?

是 否 不适用

11.是否须变更排气系统?是 否 不适用

12.是否须变更废水控制系统（控制盘、软件、etc.）是 否 不适用

序

No.

变更范围查核项目查核结果 (勾选)

13.是否须变更 PM 内容和 PM 周期?是 否 不适用

14.是否须变更或须增加安全系统（PPE、逃生路线、

冲身洗眼器、etc.）?

是 否 不适用

15.是否须变更固体或液体危险废弃物(如汞灯、毒性

化学品等)的收集、储存、处理方式?

是 否 不适用

16.是否改变消防系统原始设计？ 是 否 不适用

17.是否影响废水指标排放值?是 否 不适用

18.是否需要更新相关程序或培训教材?是 否 不适用

19. 如果变更属于新增环境污染源，是否需经环境保

护行政主管部门审批?

是 否 不适用

20. 废水处理系统暂停运转、拆除、闲置或进行改造

等变更情况，是否需要经环境保护行政主管部门审

批?

是 否 不适用

909.新增或变更化

学物质供应系统

01.尚未召开变更前会议？ 是 否 不适用

02.液态化学品 local supply system 是否需要安装泄漏

承漏盘和泄漏侦测系统，并设计有联动 Shutdown 功

能？

是 否 不适用

03.气态化学品供应是否需要安装detector，并设计有

联动 Shutdown 功能？

是 否 不适用

04.是否需要安装抽风排气装置，并设计低风压警

报？

是 否 不适用

05.化学物质管路（包括内管和外管）是否需要进行

管路测试（包括测漏，Purge，水/氧/Particle 测试

等）？

是 否 不适用

06.易燃性化学物质供应或排放管路是否需要进行接

地？

是 否 不适用

07.易燃性化学物质供应系统是否需要安装消防系

统，并将火警信号移报到ERC？

是 否 不适用

08. 是否须增加新化学品【含固态、液态及气态】的

供应系统之管路标示？

是 否 不适用

09.是否需要完成气体钢瓶/液态化学桶槽更换的标准

作业程序？

是 否 不适用

10. 是否须完成环境风评评估填写?是 否 不适用

11. 对新使用的化学品或新接触危害，原有的 PPE 是

否需要更换？

是 否 不适用

12.是否须增加中文版新化学品安全标签？ 是 否 不适用

13.是否须增加新化学品和新有害性事业废弃物需要

使用的特殊灭火器或新型紧急应变器材？

是 否 不适用

序

No.

变更范围查核项目查核结果 (勾选)

14.是否须增加新化学品和新有害性事业废弃物暂存

场所的第二道防漏设施（second containment）与泄漏

侦测系统？

是 否 不适用

15.是否因使用新化学品而产生新的有害性事业废弃

物？

是 否 不适用

16.是否须增加新的危害性输送管路、drain 排放管路

或exhaust 消防设施？

是 否 不适用

17.是否改变危害性输送管路、drain 排放管路或

exhaust 原始管径？

是 否 不适用

18.是否增加或移除 Local abatement system (包括

Local Scrubber，Burn Tube 或Cold trap) 型式?

是 否 不适用

19.是否移除或增加气体侦测系统？ 是 否 不适用

20.是否移除或增加火灾报警系统？ 是 否 不适用

21.是否变更制程尾气处理设备型式?是 否 不适用

22.变更后的危害性输送管路、drain 排放管路或

exhaust duct 材质是否与所运送之危害性化学物质不

兼容？

是 否 不适用

23.是否须变更废水排放管路?是 否 不适用

24. 或是否须更新机台风险评估？是 否 不适用

25.是否须更新中文版的化学品安全技术说明书

【MSDS/CSDS】？

是 否 不适用

26.新化学品供应系统的新化学品【含各种形态】是

否不属于公司所列管之环境禁用物质？

是 否 不适用

27. 新化学品供应系统的新化学品【含各种形态】是

否会构成重大危险源?

是 否 不适用

28. 新化学品供应系统的新化学品【含各种形态】是

否属于剧毒品？易制毒品？易制爆化学品？______

是 否 不适用

29. 新化学品供应系统的新化学品【含各种形态】是

否属于导致化学品中毒的职业病危害因素？

是 否 不适用

10 10.新设备或设施

安装、设备或设施

移位。

01.尚未召开变更前会议？ 是 否 不适用

02.机台是否为新机种类型机台且须完成风险评估”?是 否 不适用

03.机台 Layout 是否与 IE 规划不符？是 否 不适用

04.是否需确认机台所在环境消防设施装设完成并完

成测试？

是 否 不适用

05.机台位置是否影响周围安全设施（冲身洗眼器，

逃生指示灯等）？

是 否 不适用

06.机台位置是否阻挡逃生主走道通畅，主走道有效

宽度是否小于1.4 m？

是 否 不适用

07.机台或机台附属设施位置是否影响消防洒水头之

覆盖区域？

是 否 不适用

序

No.

变更范围查核项目查核结果 (勾选)

08.机台或机台附属设施位置是否影响需移除或降低

防烟垂壁之能力？

是 否 不适用

09.机台或机台附属设施位置是否影响需移除或降低

排烟系统之能力？

是 否 不适用

10.机台装机是否需遵循 HPM turn on procedure？是 否 不适用

11.机台 EMO 是否可能被阻挡？是 否 不适用

12.地板是否无法承受机台重量？ 是 否 不适用

13.机台是否没有SEMI S2 或等效认证报告？是 否 不适用

14.机台供应商是否有提供中英文安全标示？ 是 否 不适用

15.机台供应商未提供足够的Lockout 与Tagout 工

具？

是 否 不适用

16.机台具有潜在火灾风险部分未被特别指出？ 是 否 不适用

17.机台针对火灾危险的 safety interlock 是否未在原厂

进行测试？

是 否 不适用

18.机台的火警报警信号未移报至 ERC 监控室？是 否 不适用

19.机台供应商未提供机台操作状况下噪声低于 75dB

之报告？

是 否 不适用

20.机台供应商未提供机台关于辐射安全检查的官方

或第三方验证报告？是否为辐射机台？

是 否 不适用

21.机台供应商未提供机台 chamber hood 以用于 PM

时？

是 否 不适用

22.机台供应商未提供废弃物处理方式或处理厂商信

息？

是 否 不适用

23.Local abatement system 厂商是否未提供处理后残

余化学品浓度低于 1TLV（毒性化学品）或 20%

LEL （易燃性化学品）的测试报告？

是 否 不适用

24.Local abatement system 厂商提供处理效率报告未

根据“Mass balance”法则？

是 否 不适用

25.Local abatement system 供应商未提供废弃物处理

方式或处理厂商 (包括设备生产国及本地) 信息？

是 否 不适用

26.如没有废弃物处理厂商 (包括设备生产国及本地)

进行处理，Local abatement system 供应商是否自行处

理废弃物？

是 否 不适用

27.此机台新增后是否需要订定新的机台操作程序，并完

成”了人员作业危害分析(JHA)”?

是 否 不适用

28.是否需在电源及HPM 供应关闭后，进行严格的

Lock out 及Tagout 的动作？

是 否 不适用

29.是否需拆除所剩危害性管路，加 Cap 及清楚的标

示？

是 否 不适用

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摘要：

变更作业《变更前查核表》一、变更内容概述：二、变更地点（详细到柱位或机台编号）：三、变更目的：四、变更前内容(相关内容得以会议记录当成附件说明；涉及线路或管路的变更请详细绘出修改前之线路或管路图，如篇幅不足，请附图于后：五、更后内容(相关内容得以会议记录当成附件说明；涉及线路或管路的变更请详细绘出修改后之线路或管路图，如篇幅不足，请附图于后：六、相关人员权责：申请部门：变更申请人：联络电话：预计启动日期：七、相关环境安全健康风险变更前查核表：序No.变更范围查核项目查核结果(勾选)11使用新化品、注销化学品、改变制程化学品操作条件或产生新的有害废弃物01.尚未召开变更前会议？(提醒您：根据...

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变更作业《变更前查核表》.docx

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变更作业《变更前查核表》

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