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《电子工厂化学品系统工程技术规范（局部修订征求意见稿）》

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3.0 2024-05-25 0 0 418KB 31 页 1库币 海报
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UDC
中华人民共和国国家标准
P GB 50781-2012
电子工厂化学品系统工程技术规范
Technical Code for Chemical System of Electronic Factory
（局部修订征求意见稿）
××××—××—×× 发布 ××××—××—×× 实施
中华人民共和国住房和城乡建设部
联合发布
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
修订说明
本次局部修订是规范根据《住房和城乡建设部关于印发 2022 年工程建
设规范标准编制及相关工作计划的通知》（建标函［2022］21 号）的要求，
由信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司作为主编单位并
会同有关单位在《电子工厂化学品系统工程技术规范》GB50781-2012 的基础
上修订而成。
本次修订的主要内容是：
1.术语的增加和内容的修订，增加了化学品充装柜，细化了化学品桶
槽的定义；
2.电子工厂化学品储存、分配间的布置要求；
3.电子工厂化学品储存量的要求，将储存量从 7 天的使用量修改为一
个运输周期；
4.化学品供应和回收系统材料的要求，规定了腐蚀性较强废液与腐蚀
性较弱废液的材料要求；
5.工程施工及验收的要求，删除了“海关的商检证明”等与技术无关
的叙述，删除 7.4 节，删除 7.6 节后内容并入 7.5.5 条，将废液管道的设计
描述修改为施工描述；
6.增加了附录，化学品物理化学性质一览表。
本规范中以黑体字标志的条文为强制性条文，必须严格执行。
本规范由住房和城乡建设部负责管理，由工业和信息化部负责日常管
理。
本规范主编单位、参编单位、主要起草人员和主要审查人员：
主编单位：信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司
（地址：四川成都市双林路 251 号，邮编：610021）
参编单位：中国电子系统工程第二建设有限公司
上海华虹宏力半导体制造有限公司
成都爱德工程有限公司
上海正帆科技股份有限公司
冠礼控制科技(上海)有限公司
液化空气上海有限公司
上海兄弟微电子技术有限公司
上海至纯洁净系统科技有限公司
无锡氟士德防腐科技有限公司
主要起草人员：
1
主要审查人员：
2
《电子工厂化学品系统工程技术规范》GB50781-2012 修订对照表
（方框部分为删除内容，下划线部分为增加内容）
现行《规范》条文 局部修订征求意见稿
2 术语、缩略语 2 术语、缩略语
2.1 术 语 2.1 术 语
2.1.1 化学品系统 Chemical system
电子工厂中酸碱化学品、溶剂化学品、研磨
液化学品系统的统称。
2.1.1 化学品系统 Chemical system
电子工厂中酸碱盐类化学品、氧化性化学品、
有机溶剂、研磨液系统的统称。
2.1.2 化学品供应系统 Chemical supply
system
电子工厂中酸碱化学品、溶剂化学品、研磨
液化学品供应系统管道与设备的统称。
2.1.2 化学品供应系统 Chemical supply
system
电子工厂中酸碱盐类化学品、氧化性化学品、
有机溶剂、研磨液供应系统管道与设备的统称。
2.1.3 化学品回收系统 Chemical reclaiming
system
电子工厂中酸碱化学品、溶剂化学品、研磨
液化学品回收系统管道与设备的统称。
2.1.3 化学品回收系统 Chemical reclaiming
system
电子工厂中酸碱盐类化学品、氧化性化学品、
有机溶剂、研磨液回收系统管道与设备的统称。
2.1.4A 化学品充装柜 C h emical Coupling
Box （ CCB ）
连接化学品槽车和化学品储罐的中间装置，
通过管道和化学品充装柜的快速接头将大宗化学
品运送至化学品储罐。一般布置在化学品储存、分
配间的外墙。
2.1.5 化学品桶槽 Chemical container
电子工厂中用于储存化学品的小容积容器，
放置在化学品储存、分配间的化学品单元内部。
2.1.5 化学品桶槽 Chemical container
电子工厂中用于储存化学品的小容积容器，
放置在化学品储存、分配间的可移动容器，如圆桶
（ Drum ）、吨桶（ To te ） 。
2.1.6 化学品储罐Chemical storage tank
电子工厂中用于储存化学品的大容积容器，固定
布置在化学品储存、分配间内。
2.1.6 化学品储罐Chemical storage tank
电子工厂中用于储存化学品的大容积容器，固定
布置在化学品储存、分配间内或室外的化学品储罐
区。
2.1.16 化学品供应单元 Chemical transfer 2.1.16 化学品供应单元 Chemical d is pense
3
现行《规范》条文 局部修订征求意见稿
unit
向电子工厂工艺系统供应化学品的设备。
unit （ C DU ）
向电子工厂工艺系统供应化学品的设备。
2.1.20 火焰探测器 Ultraviolet rays ＆Infra-
red rays （UV/IR）
可燃溶剂化学品发生泄漏起火时，探测所产
生红外线或是紫外线的辐射热感应装置。
2.1.20 火焰探测器 Ultraviolet rays ＆Infra-
red rays （UV/IR）
易燃有机溶剂发生泄漏起火时，探测所产生红
外线或是紫外线的辐射热感应装置。
2.2 缩略语 2.2 缩略语
2.2.2 C-PVC clean polyvinyl chloride 2.2.2 C-PVC clear polyvinyl chloride
3 化学品供应系统 3 化学品供应系统
3.1 一般规定 3.1 一般规定
3.1.1 生产厂房内化学品的储存、分配间，应根
据生产工艺和化学品使用数量、物理化学特性等
确定。
3.1.1 电子工厂的化学品的储存、分配间，应根
据生产工艺和化学品使用数量、物理化学特性等确
定。
3.1.3 危险性化学品储存在单独的储存间或储
存分配间时，与相邻房间隔墙的耐火极限不应小
于 2.0h，并应布置在生产厂房一层靠外墙的房
间内
3.1.3 有机溶剂应储存在单独的储存、分配间，
与相邻房间隔墙的耐火极限不应小于 4.00h，并
应布置在生产厂房一层靠外墙的房间内。
3.1. 3A 独立的化学品供应站房和室外化学品储
罐区宜布置在生产厂房附近。
3.1.4 生产厂房内的化学品储存、分配间的设
计，应符合下列规定：
1 应设计储存桶槽或储罐，储存桶槽或储
罐的容量应为该化学品 7d 的消耗量。
2 应设计日用桶槽，日用桶槽的容量应为
该化学品 24.0h 的消耗量。
3 当单一或多种化学品的储存数量达到现
行 国 家标准《危 险 化学品重大危险源辨
识》GB18218 规定的数量时，应设置单独用于化
学品的储存与分配的建（构）筑物。
3.1.4 生产厂房内的化学品储存、分配间的设
计，应符合下列规定：
1 应设计储存桶槽或储罐，储存桶槽或储罐
的容量应小于等于该化学品一个运输周期的消耗
量。
2 日用桶槽的容量应为该化学品 24.00h 的
消耗量。
3 （本款删除）
3.1.5 化学品的储存、分配间和室外区域的化学
品储罐应设置在防火堤，储罐的布置和防火堤的
4
现行《规范》条文 局部修订征求意见稿
设计应符合现行 国 家标准《建筑设 计 防 火 规
范》 G B50016
的有关规定：
3.1.6 化学品储罐 防火堤内及室外化学品装卸区
四周应设置泄漏液体收集沟，沟内应设置漏液收
集坑。
3.1.7 化学品储存、分配间应设置泄漏液体收集
沟，沟内应设置漏液收集坑，不同性质的化学品
泄漏液体收集沟不应连通。
3.2 化学品供应设备 3.2 化学品供应设备
3.2.1 化学品供应单元的设 计应符合下列 规
定：
3 供应单元应设有清洗和吹扫槽车快速接
头的纯水枪和氮气枪，溶剂化学品补充单元不应
设纯水枪；
5 可燃溶剂化学品供应单元应设防静电接
地，补充化学品时，静电接地线应与化学品桶或
槽车连接；
3.2.1 化学品供应单元的设计应符合下列规定：
3 供应单元应设有清洗和吹扫快速接头的纯
水枪和氮气枪，有机溶剂补充单元不应设纯水
枪；
5 有机溶剂供应单元应设防静电接地，补充
化学品时，静电接地线应与化学品桶或槽车连
接；
3.2.6 可燃溶剂化学品单元应设有热感应及火
焰探测器，探测器信号应与消防系统连接。
3.2.6 有机溶剂单元应设有热感应及火焰探测
器，探测器信号应与消防系统连接。
3.2.8 化学品的储存、分配间的液体储罐，应设
置溢出保护设施，并应符合下列规定：
1 可燃溶剂储罐区应设置防火堤，防火堤
容积应大于堤内最大储罐的单罐容积；
2 酸碱类化学品、腐蚀性化学品液体储罐
区应设置防护堤，防护堤容积应大于堤内最大储
罐的单罐容积；
3 氧化性、腐蚀性化学品液体与可燃溶剂
3.2. 8 本条删除。
5
现行《规范》条文 局部修订征求意见稿
储罐之间、相互接触会引起化学反应的可燃溶剂
储罐之间应设置隔堤，隔堤容积应大于隔堤内最
大储罐单罐容积的 10%；
4 防火堤及隔堤应能存受所容纳液体的静
压，且不应渗漏，卧式储罐防火堤的高度，不应
低于 500mm，并应在防火堤适当位置设置人员进
出的踏步。
5 防火堤、防护堤、隔堤四周应设置泄漏
收集沟，沟内应设置泄漏收集坑，不同性质的化
学品泄漏收集沟不应连通。
3.2.9 化学品储存、分配间四周应设置泄漏废液
收集沟，沟内应设置废液收集坑，不同性质的化
学品泄漏废液收集沟不应连通。
3.2. 9 本条删除。
3.3 化学品供应管道系统 3.3 化学品供应管道系统
3.3.3 酸碱类、研磨液、腐蚀性溶剂化学品应设
计双套管，双套管的设计应符合下列规定：
1.内管不应有焊接头
3.3.3 酸碱盐类、氧化剂、研磨液、腐蚀性有机溶
剂应设计双套管，双套管的设计应符合下列规
定：
1.内管不宜有焊接头
3.3.5 非腐蚀性溶剂类化学品宜采用不锈钢管
道材质，管道连接应采用氩弧焊自动焊接，非焊
接连接点的部位应置于箱体内。
3.3.5 非腐蚀性有机溶剂采用的不锈钢管道连接
应采用氩弧焊自动焊接，非焊接连接点的部位应
置于箱体内。
3.4 设备与管道材料 3.4 设备与管道材料
3.4.1 化学品供应系统与介质接触的储罐、桶
槽、管道、管道附件应采用不与化学品产生反应、
并不向化学品介质渗透微量物质的材质，系统材
质的选用应符合表 3.4.1 的规定。
3.4.1 化学品供应系统与介质接触的储罐、桶槽、
管道、管道附件应采用不与化学品产生反应、并不
向化学品介质渗透微量物质的材质，系统材质的
选用应符合表 3.4.1 的规定。
6
现行《规范》条文 局部修订征求意见稿
表 3.4.1 化学品供应系统的材质选用表 3.4.1 化学品供应系统的材质选用
化
学
品
类
别
酸碱化学
品
腐蚀性溶剂
化学品
非腐蚀溶
剂化学品
化
学
品
装
置
— — —
化
学
品
单
元
外
壳
PP 或 PVCPP 或 PVC不锈钢
阀
门
箱
和
三
通
箱
外
壳
PP 或 PVCPP 或 PVC不锈钢
化
学
品
类
别
酸碱盐、氧
化剂、研磨
液
腐蚀性有机
溶剂
非腐蚀有
机溶剂
化
学
品
装
置
— — —
化
学
品
单
元
外
壳
PP 或 PVC不锈钢 不锈钢
阀
门
箱
和
三
通
箱
外
壳
PP 或 PVC不锈钢 不锈钢
化 内衬 PFA内衬 PFA 或 SS316L-
7
现行《规范》条文 局部修订征求意见稿
化
学
品
储
罐
内衬 PFA
或 PTFE 的
SUS304 储
罐/内衬
PFA 或
PTFE 的碳
钢储罐/内
衬 PFA 或
PTFE
的 FRP 储
罐
内衬 PFA 或
PTFE 的碳钢
储罐储罐/内
衬 PFA 或
PTFE 的
SUS304
SUS316L-
EP
化
学
品
桶
槽
内衬 PFA
或 PTFE 的
PE
桶槽/内衬
PFA 或
PTFE 的
SUS304 桶
槽
内衬 PFA 或
PTFE 的
SUS304 桶槽/
内衬 PFA
或 PTFE 的碳
钢桶槽
316L-EP
管
路
PFA＋透明
PVC 双套管
PFA＋SUS304
双套管
SUS316LE
P管
阀
门
PFA（外
壳）/
PTFE（膜
片）
SUS316EP
（外壳）/
PTFE（膜
片）
SUS316EP
（外壳）
/ PTFE
（膜片）
接
头
PFA/
PTFE/PVDF
SUS316 SUS316
学
品
储
罐
或 PTFE 的
SS304 储罐
/内衬 PFA
或 PTFE 的
碳钢储罐/
内衬 PFA
或 PTFE
的 FRP 储
罐
PTFE 的碳钢
储罐储罐/内
衬 PFA 或
PTFE 的
SS304 储罐
EP
化
学
品
桶
槽
内衬 PFA
或 PTFE 的
PE
桶槽/内衬
PFA 或
PTFE 的
SS304 桶槽
内衬 PFA 或
PTFE 的
SS304 桶槽/
内衬 PFA
或 PTFE 的碳
钢桶槽
SS316L-
EP
管
路
PFA＋透明
PVC 双套管
PFA＋SS304
双套管
SS316L-
EP管
阀
门
PFA（ 阀
体 ） /
PTFE（膜
片）
PFA（阀体）
/ PTFE（膜
片）
SS316L-
EP（阀
体）/
PTFE（膜
片）
接
头
PFA/PTFE PFA/PTFE SS316L
8
现行《规范》条文 局部修订征求意见稿
3.4.2 酸碱类、腐蚀性溶剂类化学品管路中的
阀门密封，应采用PFA 或 PTFE 材质，溶剂化学
品管路中的阀门密封材料应采用不与输送介质发
生反应的材质。
3.4.2 酸碱盐、氧化剂、研磨液和腐蚀性有机溶剂
类管路中的阀门密封，应采用PFA或PTFE 材质。
3.4.3 酸碱类化学品的主供应管道应采用内管
PFA、外管 C-PVC 的双套管，隔膜阀应采用PFA材
质。非腐蚀性溶剂 化学品的主供应管道应采用
SUS316LEP管，腐蚀性溶剂化学品的主供应管路
应采用内管 PFA、外管 SUS304 的双套管，隔膜阀
应采用 SUS316L。
3.4.3 酸碱盐、氧化剂和研磨液的主供应管道应
采用内管 PFA、外管 C-PVC 的双套管，隔膜阀应采
用PFA材质。非腐蚀性有机溶剂的主供应管道应采
用 SS316LEP管，隔膜阀应采用
S S316L - EP
阀体和
P TFE
膜片。 腐蚀性有机溶剂的主供应管路应采用
内管 PFA、外管 SS304 的双套管，隔膜阀应采用
PFA
阀体和
PTFE
膜片 。
3.4.4 混合化学品溶液在物理化学性质不明确
时，应依据化学品的主要性质，选择设备与管道
的材质。
3.5 管道标示 3.5 设备与管道材料
3.5.2 酸碱类化学品宜采用白底黄色箭头；研
磨液宜采用白底黄色箭头；溶剂化学品宜采用白
底红色箭头。
3.5.2 酸碱盐类、氧化性化学品宜采用白底黄色
箭头；研磨液宜采用白底黄色箭头；有机溶剂宜
采用白底红色箭头。
4 化学品回收系统 4 化学品回收系统
4.1 一般规定 4.1 一般规定
4.1.2 化学品回收宜采用集中处理系统，通过
收集桶或槽车送至专业工厂回收处理。
4.1.2 化学品回收宜采用集中收集系统，通过收
集桶或槽车送至专业工厂回收处理。
4.1.3 化学品回收系统的设备与管道材质宜符
合本规范第 3.4 节的规定。
4.1.3 腐蚀性较强的化学品回收系统的设备与管
道应采用
PFA 、 P VDF 、 P TFE 、不锈钢等 材质。
9

标签： #技术

摘要：

UDC中华人民共和国国家标准PGB50781-2012电子工厂化学品系统工程技术规范TechnicalCodeforChemicalSystemofElectronicFactory（局部修订征求意见稿）××××—××—××发布××××—××—××实施中华人民共和国住房和城乡建设部联合发布中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局修订说明本次局部修订是规范根据《住房和城乡建设部关于印发2022年工程建设规范标准编制及相关工作计划的通知》（建标函［2022］21号）的要求，由信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司作为主编单位并会同有关单位在《电子工厂化学品系统工程技术规范》GB50781-...

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《电子工厂化学品系统工程技术规范（局部修订征求意见稿）》.doc

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